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在光伏領域應用優(yōu)勢：

1、滿足光伏半導體擴散工藝的技術要求；

2、更低的維護頻率及維護成本；

3、更穩(wěn)定準確的工藝控制；

4、更高的能效比；

5、更小的體積。

產(chǎn)品特點：

1、耐腐蝕、耐高溫

滿足硼擴散、磷擴散等不同工藝過程的耐腐蝕需求；

本公司擴散泵可耐：磷酸、鹽酸、氫溴酸等；

滿足100℃以上氣氛溫度。

2、對水汽粉塵等雜質(zhì)更高的容錯性

徑向和軸向的柔性設計，使水汽粉塵等雜質(zhì)具有很高的通過率；

允許大顆粒通徑尺寸為：0.1mm；

外置排氣閥，便于維護。

3、穩(wěn)定、精密的工藝控制

啟動性能好，轉(zhuǎn)速可在較大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，且效率變化不大，變轉(zhuǎn)速特性好；

可調(diào)整轉(zhuǎn)速范圍：50-3,300rpm；

壓力、流量等工藝參數(shù)控制更穩(wěn)定；

真空壓力可控范圍：0.1mbar-1bar；流量可控范圍：20-200slpm。

4、運行平穩(wěn)、噪音低

較小的主軸回轉(zhuǎn)半徑，使得運動件受力變化??；

整機平均功率：300 W；

機器運行時振動和噪音更低；

整機平均噪音：54 dB(A)。

5、更輕、更小、更快

多級壓縮腔工作，氣體壓差小，泄漏少，容積效率高；

 結構簡單緊湊，重量輕，體積??；

更穩(wěn)定的負壓控制；

更快的抽速。