單面和雙面為動(dòng)渦旋盤上兩面是否都有渦旋齒而言,動(dòng)渦旋盤上只有一面有渦旋齒為單面渦旋泵,動(dòng)渦旋盤上兩面都有渦旋齒為雙面渦旋泵。
與單面相比,雙面渦旋泵有較高的抽速和自平衡軸向力的優(yōu)點(diǎn),但是由于很高的結(jié)構(gòu)對(duì)稱性要求,雙面渦旋盤的加工制造比較困難。
在雙面渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)中,動(dòng)渦旋中心要安裝兩個(gè)軸承,軸承和真空室直接相連,即使使用動(dòng)密封,也會(huì)造成返油現(xiàn)象,污染真空環(huán)境和影響極限真空度,要考慮軸承因真空引起的變形,使用真空軸承,軸承長(zhǎng)期在真空條件下工作,會(huì)降低軸承的壽命。
雙面渦旋真空泵中要求曲軸較長(zhǎng),增大了曲軸的加工制造難度和成本,如果曲軸稍有變形,就會(huì)在很大程度上影響側(cè)向間隙,從而影響極限真空度,甚至出現(xiàn)碰齒現(xiàn)象。在單面渦旋真空泵中,軸承可與真空室隔開,清潔度和極限真空度提高;結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,動(dòng)渦旋盤和靜渦旋盤之間容易拆裝,密封條的替換比較容易;曲軸較短,加工制造難度和成本降低。
由于曲軸沒有穿過動(dòng)、靜渦旋盤,不能用一個(gè)電機(jī)帶動(dòng)靜渦旋盤處的冷卻風(fēng)扇,需要另設(shè)電機(jī)帶動(dòng)冷卻靜渦旋盤的風(fēng)扇。
動(dòng)渦旋盤不能自平衡軸向力,主軸受力較復(fù)雜,振動(dòng)較大,降低軸承壽命。