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前級(jí)泵的作用是降低羅茨真空泵的排出壓力,使羅茨真空泵的進(jìn)、排氣壓差和壓縮比被控制在一定范圍內(nèi)。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的前級(jí)泵抽速配置。
前級(jí)泵抽速選擇排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值,選用的前級(jí)泵必須能將主泵的比較大氣體量排走,根據(jù)羅茨真空泵機(jī)組的長期工作壓力范圍來考慮。
另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,對(duì)預(yù)抽時(shí)間長短的要求問題,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長,可選較小的前級(jí)泵,假如真空室較大,而且要求很快達(dá)到預(yù)抽真空度,就要用較大的前級(jí)泵。還有必須要注意的是羅茨泵的實(shí)際運(yùn)行時(shí)的壓差不得超過其比較大允許壓差,一般建議控制在75%以下,否則羅茨泵會(huì)出現(xiàn)過熱、過載或咬死等情況。