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由于單一的真空泵不能滿足工作或?qū)嶒炈枰奶囟ōh(huán)境，所以需要通過不同的真空泵來承擔(dān)各自的任務(wù)，讓整個系統(tǒng)能夠和協(xié)同統(tǒng)一的完成工作。

根據(jù)它們各自的作用，可以將真空泵分為以下幾種：

主泵

所謂主泵就是對真空系統(tǒng)被抽容器直接進行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。

粗抽泵

粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強達到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。

前級泵

前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強維持在其比較高許可的前級壓強以下的真空泵。

維持泵

維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

增壓泵

增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級泵抽氣速率要求的真空泵。

通過這些真空泵的共同作用，一級一級的提供良好的工作條件，比較終達到工作所需求的真空環(huán)境。