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渦旋干泵注定將替代油旋片泵
2016-09-06 15:20
由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.
科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱?，F(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可靠性。
為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵靠前不需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無油渦旋真空泵成為普通油旋片真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。