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前級泵與羅茨泵之間的聯(lián)系

前級泵主要是幫助主泵羅茨真空泵啟動,羅茨真空泵一般情況下不能在常壓下啟動,如果要啟動電機(jī)功率相當(dāng)大,而且對泵的運(yùn)行有傷害。羅茨泵的抽速與前級泵抽速之間的關(guān)系,主要取決于容積效率和羅茨泵許可的壓力差。如果容積效率低,則羅茨泵機(jī)組的有效抽速將會明顯下降。如果羅茨泵的壓力差超過許可的比較大壓力差,由于壓縮功將使轉(zhuǎn)子過熱膨脹,而會被卡死。因?yàn)楸脷ひ子谙蛑車h(huán)境散熱,仍然是不太熱的。當(dāng)羅茨泵在較高壓力下啟動時(shí),壓力下降速度很快,達(dá)到了要求的壓力,啟動時(shí)雖然超過了比較大許可壓力差,但短時(shí)間超負(fù)荷(幾分鐘內(nèi))一般羅茨泵的馬達(dá)不會發(fā)生問題。對入口壓力非常低或前級泵氣鎮(zhèn)閥工作時(shí),通常使用雙級前級泵,否則羅茨泵所需的前級壓力很難達(dá)到,而且,在這種壓力下前級泵的抽速變得太低了。將導(dǎo)致壓縮比太高,容積效率降低了。


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羅次泵最大允許壓差范圍在40-100hPa,在較高的壓力范圍(150hPa)時(shí),允許的壓力差稍高,因?yàn)楸怀闅怏w量多,改善了轉(zhuǎn)子的冷卻。由于壓差的增加,必將引起所需功率也要增加。在羅茨泵的出口管道設(shè)置專用的氣體冷卻器,這時(shí)許可的比較大壓差可以增加,因?yàn)槔鋮s氣體的回流能保持轉(zhuǎn)子的溫度在規(guī)定的范圍內(nèi)。在真空和高真空范圍內(nèi),抽速比多采用10:1。在入口壓力有較大變化或前級壓力變小,則壓縮比降低,故抽速比多選擇5:1。


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