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無(wú)油渦旋真空泵的發(fā)展與應(yīng)用

一、引言 

    渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn),20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專利。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制,渦旋機(jī)構(gòu)制造不出來(lái),渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出靠前臺(tái)模型機(jī)構(gòu),使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可靠性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視迫切需求,大受行業(yè)優(yōu)先先者青睞,迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品引優(yōu)先了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮,帶動(dòng)了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。 

    今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè),實(shí)現(xiàn)了全無(wú)油、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒(méi)有污染,并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級(jí)、雙級(jí)無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。 

    上個(gè)世紀(jì)90年代初,世界上首臺(tái)渦旋真空泵推向市場(chǎng),渦旋技術(shù)由此開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。到目前為止,世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠家集中在美國(guó)、日本和歐洲,以日本的Anest Iwata、美國(guó)的Varian、德國(guó)的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品,有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。 


二、無(wú)油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用優(yōu)先域 

    清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開(kāi)始,人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時(shí)至今日,清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)

展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中,無(wú)油渦旋真空泵與其他種類的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn): 

①.無(wú)油,無(wú)摩擦——真空腔內(nèi)無(wú)油,非接觸,無(wú)磨損,不產(chǎn)生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;

②.抽氣量大——雙渦旋盤,結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源; 

③.抽氣效率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元,壓差?。淮髿馀c真空之間由O型圈密封,泄漏低; 

④.非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動(dòng)??; 

⑤.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊,相同尺寸下,運(yùn)動(dòng)半徑小,運(yùn)行平穩(wěn); 

⑥.體積小,維修方便,維護(hù)費(fèi)用低; 

⑦.采用空氣冷卻,無(wú)需水冷。 

目前無(wú)油渦旋真空泵的應(yīng)用優(yōu)先域?yàn)? 

①.半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備; 

②.科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器; 

③.機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備; 

④.化學(xué)工業(yè); 

⑤.醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備; 

⑥.包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

    為解決我國(guó)科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體等行業(yè)發(fā)展面臨的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問(wèn)題,近年來(lái)已經(jīng)不斷有業(yè)內(nèi)能手向國(guó)內(nèi)介紹渦旋無(wú)油真空泵技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀,國(guó)外渦旋無(wú)油真空泵生產(chǎn)廠家與代理對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的開(kāi)發(fā)使其在中國(guó)市場(chǎng)的銷量在逐年增長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)真空行業(yè)相關(guān)企業(yè)也開(kāi)展了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模試制無(wú)油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索,只是由于技術(shù)基礎(chǔ)、激勵(lì)機(jī)制、研發(fā)手段、資金投入的限制,研發(fā)工作進(jìn)展不是非???。產(chǎn)品質(zhì)量、穩(wěn)定可靠性、以及技術(shù)推廣與市場(chǎng)開(kāi)拓規(guī)劃、原則、手段等也是問(wèn)題。因此無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)是企業(yè)必須解決的兩大問(wèn)題。隨著研發(fā)手段、資金投入、市場(chǎng)開(kāi)拓問(wèn)題的解決,無(wú)油渦旋真空泵將會(huì)打開(kāi)市場(chǎng),從而提高整個(gè)真空獲得行業(yè)的技術(shù)水平。成功的無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)模式也將為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。


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